세미콘 이색 전시 2題...자율주행로봇과 수중 초음파 검사장비

[아이뉴스24 권서아 기자] 지난 11일부터 13일까지 서울 코엑스 일대에서 열린 '세미콘코리아 2026'에는 국내외 반도체 기업 550개 회사가 참가했다. 3일간 전시회를 둘러본 사람만 7만5000명에 달한다.

많은 참가 기업 중 특히 눈에 띄었던 이색 전시 제품 2가지를 소개한다. '클린룸(Clean Room·청정실)용 청소·환경 모니터링 로봇'과 '수중 반도체 초음파 검사(SAT) 장비'가 그것이다.

케이엠, 클린룸용 청소·환경 모니터링 로봇 공개

클린룸 방진복과 방진 장갑 등을 생산하는 케이엠(KM)은 클린룸 내부 운용을 전제로 설계된 자율주행 로봇 '케이엠 봇'(KM Bot)을 선보였다.

케이엠 관계자는 "이 로봇은 클린룸 안에서 쓸 수 있도록 센서와 모니터링 기능을 추가한 로봇"이라며 "파티클(제조 공정 속 입자) 측정뿐만 아니라 온·습도 등 다양한 환경 정보도 모니터링할 수 있다"고 말했다.

이 장비는 공기입자 제거(HEPA) 필터와 파티클 카운터 센서로 공기 중 미립자(보이지 않는 빛의 물결 입자) 농도를 측정할 수 있다. 충돌 방지 범퍼와 자동 충전 기능, 24시간 연속 무인 운행 시스템으로 24시간 무인 운영도 가능하다. 또 온·습도, 풍속, 산소농도, 유해가스 등 환경 데이터를 실시간 모니터링한다.

반도체 생산 공정은 미세 입자(분진)가 수율(전체 생산품에서 양품 비율) 저하로 이어지는 만큼 공기 중 미립자 제어가 필수적이다. 자동화 설비 증가로 장비 마찰 등 새로운 파티클 발생 요인도 관리 대상에 포함되면서 클린룸 운영 기술의 중요성이 커지고 있다.

소닉스, 수중 반도체 초음파 검사 장비 전시

미국 소닉스(Sonix)는 반도체 패키징 및 웨이퍼 본딩(접합) 이후 고대역폭 메모리(HBM)의 내부 결함을 찾는 수중 반도체 초음파 검사 장비 'ECHO-VS'를 선보였다.

소닉스는 지난 1986년 설립된 미국 반도체 검사장비 기업으로, 마이크로전자용 초음파 비파괴 검사 기술 개발에 특화돼 있다. 자동화 초음파 웨이퍼 검사 장비 분야에서 70% 이상의 시장 점유율을 보유한 것으로 알려졌다.

이 장비는 웨이퍼 본딩 이후 내부에 형성될 수 있는 보이드(공기층) 등 미세 결함을 초음파 투과 방식으로 확인한다. 초음파는 매질(파동을 전해주는 물질)이 존재할 때만 전달되고 공기층에서는 신호가 전달되지 않는다.

소닉스 관계자는 "웨이퍼를 두 장 붙이는 본딩 공정을 한 이후에는 내부에 파티클로 인해 보이드가 생길 수 있다"며 "초음파는 내부에 투과가 가능하기에 물을 매질로 이용해 이런 결함을 확인할 수 있다"고 말했다.

해당 장비는 패키징과 웨이퍼 공정에서 주로 사용된다.